当前位置:
从以色列海法出发
在半导体后道封测装备领域,划片机是集中度极高的细分赛道。能够提供高端量产级划片解决方案的厂商,全球不过寥寥数家。而在这个极小的圈子里,有一家公司的名字始终与“划片”紧密相连——Advanced Dicing Technologies(ADT) 。
2003年8月,ADT诞生于以色列海法——这座被誉为“以色列硅谷”的滨海科技之城。其技术底蕴渊源深厚,脱胎于美国库力索法(K&S)积淀三十余年的切割设备与刀片业务。历经数十年发展,ADT成长为全球第三大半导体划片切割设备厂商,产品服务于美国、欧洲、中国等全球主要半导体产区。2019年,光力科技开启了对ADT的收购进程,将这一世界级划片技术平台纳入国内上市公司全球化产业布局。目前“ADT”已成为光力科技半导体整机设备的全球统一品牌,承担全球设备业务的品牌运营职能。

今天要向您介绍的ADT 7122,正是诞生于这个以色列研发制造体系中的一款代表性机型。
7122属于ADT 71系列,精准定位于8英寸及以下晶圆及脆硬材料的精密切割。它的核心配置代表了以色列团队对精密划片工艺的深刻理解——前装式2英寸空气主轴,直流无刷电机驱动,提供闭环速度控制,最高转速60,000rpm,功率1.8kW(可选配2.2kW高功率版本),兼容2英寸至3英寸硬刀和软刀。
它的精密运动平台为脆硬材料的微米级切割提供了可靠的工程底座——θ轴闭环直驱转台将角度偏差控制在微米级别,三轴运动系统配合线性编码器实现闭环反馈,在连续切割中保持步进与定位的高度一致性。视觉系统配备高分辨率数字相机与连续变倍光学模块,为切割前的精确对准和切割后的质量评估提供了清晰、可靠的视觉依据。这份对微米级精度的掌控力,源于以色列工程师数十年如一日对精密运动控制技术的专注与沉淀。
刀片磨损预测算法(Blade Wear Forecast Algorithm) 是另一个值得关注的技术点。该算法实时预测刀片磨损速率,可将调刀时间缩短至传统方法的三分之一,同时提升单位小时产出。刀片管理从“经验判断”升级为“预测性维护”,将非计划停机和批量良率损失降到最低。7122的定位清晰而务实:不追求“全自动产线”式的宏大叙事,而是将每一分成本都投入到真正影响切割质量的环节——精密运动、低振动主轴、闭环控制。在晶圆与脆硬材料加工领域,切割质量的衡量标准不在于设备的“自动化程度”,而在于“能否在每一次切割中,将崩边与微裂纹抑制在可控范围内”。
今天要向您介绍的ADT 7122,正是诞生于这个以色列研发制造体系中的一款代表性机型。
7122属于ADT 71系列,精准定位于8英寸及以下晶圆及脆硬材料的精密切割。它的核心配置代表了以色列团队对精密划片工艺的深刻理解——前装式2英寸空气主轴,直流无刷电机驱动,提供闭环速度控制,最高转速60,000rpm,功率1.8kW(可选配2.2kW高功率版本),兼容2英寸至3英寸硬刀和软刀。
它的精密运动平台为脆硬材料的微米级切割提供了可靠的工程底座——θ轴闭环直驱转台将角度偏差控制在微米级别,三轴运动系统配合线性编码器实现闭环反馈,在连续切割中保持步进与定位的高度一致性。视觉系统配备高分辨率数字相机与连续变倍光学模块,为切割前的精确对准和切割后的质量评估提供了清晰、可靠的视觉依据。这份对微米级精度的掌控力,源于以色列工程师数十年如一日对精密运动控制技术的专注与沉淀。
刀片磨损预测算法(Blade Wear Forecast Algorithm) 是另一个值得关注的技术点。该算法实时预测刀片磨损速率,可将调刀时间缩短至传统方法的三分之一,同时提升单位小时产出。刀片管理从“经验判断”升级为“预测性维护”,将非计划停机和批量良率损失降到最低。7122的定位清晰而务实:不追求“全自动产线”式的宏大叙事,而是将每一分成本都投入到真正影响切割质量的环节——精密运动、低振动主轴、闭环控制。在晶圆与脆硬材料加工领域,切割质量的衡量标准不在于设备的“自动化程度”,而在于“能否在每一次切割中,将崩边与微裂纹抑制在可控范围内”。
一颗跨越英以的“心脏”

7122最核心的部件——空气主轴,源自光力科技旗下英国子公司Loadpoint(LP)。LP是半导体切割划片机的发明者,也是全球首个将空气主轴应用到半导体划片机上的公司。近60年来,LP在高性能空气主轴领域积累了全球领先的技术实力,其生产的高精密空气主轴以超高运动精度、超高转速和超高刚度著称。空气主轴依靠气膜悬浮实现无机械接触运转,从根本上消除了滚珠轴承固有的高频振动——对于脆硬材料切割而言,这是从物理层面抑制崩边的根本手段。
与设备共生的以色列刀片

设备之外,ADT还有一项同样重要的业务——切割刀片。
ADT的刀片业务与设备业务同源,均脱胎于美国K&S公司超过30年的技术积累。以色列ADT的软刀产品经过几十年的技术迭代和应用积累,性能稳定可靠,持续为全球包括头部封测企业在内的客户提供刀片解决方案。
刀片与设备的关系,远不止“耗材与主机”那么简单。切割工艺的优化是设备参数、刀片选型、材料特性三者协同的结果——同一台设备,配不同粒度、不同结合剂配方的刀片,切割同一种材料的结果可能天差地别。ADT同时掌握设备与刀片研发和制造两套体系,意味着客户获得的不是一台孤立的机器,而是一套经过数十年应用验证的完整切割工艺解决方案:当你在工艺开发中遇到崩边、切割道异常、刀片寿命等问题时,ADT的工程师能够从设备端和刀片端同时给出调整方案——这种设备与刀片“两位一体”的综合能力,是纯设备制造商不具备的。
不只一台设备,更是一个全球化平台
7122只是71系列的一个缩影。
同一平台下,还有搭载2英寸主轴、工作台扩展至12英寸,面向PCB、QFN、BGA面板以及大尺寸硅晶圆的切割需求的7132,以及搭载4英寸高功率主轴、面向陶瓷与厚膜材料的7124和7134。一台凝结以色列研发、英国主轴与以色列刀片技术的划片机,在中国这一全球最大的半导体需求市场完成了价值兑现——这恰是“全球化”最务实的注脚。
一台划片机的全球化之旅,本质上是一个技术如何在跨国界、跨文化的协作中不断精进的故事。而7122,正是这个故事最直接的载体。
